English(CV)
連絡先
Facility

主な実験装置

占有の実験装置

  • ファンクションジェネレータ(~200 MHz)
  • 高速バランスディテクタ(~650 MHz)
  • 高速・低雑音プリアンプ(40 dB、1 kHz-500 MHz)
  • 多チャンネル計測用信号切替器
  • 小型氷点下チラー
  • ハイパスフィルタ
  • パワーメータ
  • 分光器
  • 磁石ステージ
  • ガウスメータ
  • 半導体温度計
  • 超音波洗浄機

専攻・大学共有の実験装置

  • 超高精細電子ビームリソグラフィー装置125k(エリオニクス:ELS-100)
  • SEM付集束イオンビーム装置(ZEISS:Nvision 40D with NPVE)
  • 走査型プローブ顕微鏡(日立ハイテクサイエンス:AFM5000/AFM5300E)
  • LED描画装置(ピーエムティー:PLS-1010)
  • 自動制御型パルスレーザー蒸着ナノマテリアル合成装置(パスカル:MC-LMBE)
  • 透過電子顕微鏡(日本電子:JEM2100plus、JEM-ARM200F)
  • エリプソメータ(J.A. Woollam Japan:M-2000U)
  • サーフェイスプロファイラ(KLA Tencor:p-16+)
  • ワイヤーボンダ(ハイソル:MODEL 7476D)
  • 機械工作機器(ワイヤ放電加工機、レーザ加工機、旋盤、フライス盤、ボール盤)
  • レーザーラマン顕微鏡(ナノフォトン:RAMAN-touch VIS-NIR-OUN)
  • 無機・有機ドラフトチャンバ