集束イオンビーム(FIB)加工による微細構造の製作とプラズモン特性評価

３次元電磁場シミュレーションと並行して，実際に，真空蒸着した銀薄膜上へFIB加工観察装置を用いて２開孔構造を製作し，白色光やレーザー光を照射して，開孔形状に応じた分光透過特性や偏光特性などを調べています．