中野元博 准教授

量子計測領域では、『光』に関連する研究を行っています。光の放射や検出は、いずれも電子との相互作用で生じるので量子を計測している研究領域なのです。光でナノメートルの世界を観ることは、光学レンズの回折限界を越えるために不可能と思われてきましたが、走査型近接場光学顕微鏡(Scanning Near-field Optical Microscope; SNOM)の開発によってこの常識は破られました。量子計測領域では、縦2nm･横10nmという世界最高の空間分解能を持つSNOMや、nmレベルの高精度でミラーの絶対形状を計測できるPDI、大面積の半導体基板上でナノメートルの欠陥を見つけ出せる光散乱法、さらに、次世代の超LSI露光に使う極端紫外線(EUV)発生用プラズマ光源の開発など、最先端の”物づくり”科学技術へ『光』を応用する研究にチャレンジしています。ナノの世界で光と電子が相互作用する世界のおもしろさを観て考え、新しいテクノロジーを創造する道を拓く研究に取り組んでいるのが量子計測領域です。